23-Aug-2001					Site Summary Report					Page:	1.00
Operator:		Administrator		Lot Number:		30797C17 - C22				Passed:	32
Measurement Date:		08/23/2001		Recipe:		Crystacomm100mm_InP_roughpolish				Failed:	0
Measurement Time:		12:14:12		Wafer ID:		Wafer #C17				Yield:	100.0	%
Site	Center	Avg	Min	Max
Number	Thickness	Thickness	Thickness	Thickness	TTV	SBIR	SF3R	SFLR	SFQR	SBID	SF3D	SFLD	SFQD
	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)	(µm)
Low Limit
High Limit
1.00	601.93	601.89	601.68	601.97	0.29	0.29	0.21	0.30	0.00	0.25	0.17	0.27	0.00
2.00	602.23	602.21	601.97	602.41	0.45	0.45	0.37	0.39	0.20	0.27	0.19	0.29	0.11
3.00	602.03	602.07	601.94	602.41	0.47	0.47	0.57	0.53	0.15	0.39	0.47	0.37	0.08
4.00	601.96	601.93	601.81	601.96	0.15	0.15	0.20	0.24	0.00	0.15	0.14	0.23	0.00
5.00	601.93	601.89	601.68	601.96	0.28	0.28	0.37	0.26	0.00	0.25	0.33	0.23	0.00
6.00	601.68	601.87	601.68	602.09	0.41	0.41	0.42	0.32	0.26	0.40	0.41	0.32	0.18
7.00	602.20	602.27	601.97	602.71	0.74	0.74	0.76	0.58	0.14	0.51	0.52	0.43	0.07
8.00	602.40	602.36	601.94	602.71	0.77	0.77	0.92	0.73	0.07	0.45	0.53	0.43	0.04
9.00	601.69	601.91	601.69	602.35	0.66	0.66	0.74	0.68	0.39	0.66	0.74	0.64	0.22
10.00	601.57	601.65	601.56	601.81	0.25	0.25	0.25	0.33	0.04	0.24	0.25	0.33	0.03
11.00	602.12	602.00	601.93	602.12	0.20	0.20	0.27	0.31	0.18	0.19	0.27	0.27	0.09
12.00	602.08	602.11	601.93	602.52	0.60	0.60	0.61	0.53	0.21	0.45	0.46	0.37	0.12
13.00	602.57	602.58	602.09	603.03	0.94	0.94	0.95	0.78	0.06	0.49	0.49	0.41	0.03
14.00	602.86	602.75	602.35	603.03	0.67	0.67	0.83	0.63	0.17	0.51	0.58	0.49	0.11
15.00	602.13	602.23	601.74	602.80	1.07	1.07	1.22	1.03	0.14	0.67	0.75	0.65	0.10
16.00	602.17	602.07	601.74	602.37	0.64	0.64	0.65	0.50	0.17	0.44	0.45	0.36	0.09
17.00	601.93	601.87	601.69	601.94	0.25	0.25	0.24	0.39	0.11	0.25	0.24	0.33	0.06
18.00	601.95	602.06	601.69	602.52	0.84	0.84	0.68	0.88	0.15	0.57	0.49	0.59	0.11
19.00	602.46	602.65	602.22	603.03	0.80	0.80	0.71	0.84	0.31	0.57	0.55	0.59	0.19
20.00	602.90	602.86	602.55	603.03	0.47	0.47	0.52	0.64	0.11	0.35	0.34	0.43	0.07
21.00	602.29	602.38	602.12	602.80	0.68	0.68	0.75	0.85	0.17	0.52	0.51	0.60	0.09
22.00	602.32	602.24	602.12	602.35	0.23	0.23	0.21	0.26	0.09	0.20	0.21	0.22	0.06
23.00	601.88	601.81	601.69	601.88	0.19	0.19	0.27	0.20	0.00	0.19	0.27	0.20	0.00
24.00	601.73	601.92	601.69	602.22	0.54	0.54	0.54	0.52	0.26	0.50	0.49	0.52	0.20
25.00	602.70	602.62	602.21	603.00	0.79	0.79	0.75	0.83	0.11	0.48	0.48	0.51	0.08
26.00	602.87	602.74	602.30	603.00	0.70	0.70	0.73	0.87	0.21	0.56	0.56	0.65	0.13
27.00	601.97	602.17	601.92	602.55	0.64	0.64	0.62	0.80	0.27	0.58	0.58	0.67	0.20
28.00	601.97	602.00	601.92	602.12	0.20	0.20	0.15	0.31	0.00	0.15	0.14	0.23	0.00
29.00	601.95	601.96	601.76	602.21	0.45	0.45	0.38	0.39	0.00	0.27	0.19	0.29	0.00
30.00	602.65	602.61	602.21	602.96	0.75	0.75	0.68	0.69	0.12	0.43	0.44	0.35	0.07
31.00	602.62	602.63	602.30	602.96	0.66	0.66	0.73	0.72	0.07	0.34	0.40	0.42	0.04
32.00	601.95	602.00	601.92	602.30	0.39	0.39	0.46	0.45	0.00	0.35	0.34	0.43	0.00
Minimum	601.57	601.65	601.56	601.81	0.15	0.15	0.15	0.20	0.00	0.15	0.14	0.20	0.00
Maximum	602.90	602.86	602.55	603.03	1.07	1.07	1.22	1.03	0.39	0.67	0.75	0.67	0.22
Average	602.18	602.20	601.94	602.47	0.54	0.54	0.56	0.55	0.13	0.39	0.41	0.41	0.08
Std Dev	0.359	0.321	0.245	0.398	0.243	0.243	0.257	0.228	0.100	0.150	0.163	0.142	0.064